Aixtron AIX2800 G4 HT MOCVD

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Aixtron AIX2800 G4 HT MOCVD

商家设备

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CVD

类型

2010年

年份

晶片尺寸

基本信息

型号：2800 G4HT
类型：CVD
年份：2010年
晶片尺寸：6
设备数量：1
销售状态：已出售

设备描述

1. Basic 11x4"" Reactor 11 port, indivisual satellite ESA 70W-D Dry pump 2. Gms TmGa(1xN2, 1x H2) Timin(2xN2) CBr4(1xH2) SiH4(1xDirect, 1x Dilute) MFC: STEC, N2/H2/NH3 Inlet 3/8"" 3. Process: EpiCurve TT 4. Gas purification: NH3 purifier only

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